倒装芯片激光回流焊 1.倒装芯片技术演进 倒装芯片通过凸点(Bump)直接连接芯片与基板,取代传统引线键合(Wire Bonding),实现更高密度I/O(每平方毫米超1000个焊点)、更短电信号路径(降低50%电感)和更优散热性能。 2.传统回流焊的局限性 热应力问题:整体加热导致基板翘曲(热膨胀系数差异达3-5ppm/℃);工艺效率低:批量回流需30-60分钟,无法满足高密度封装需求;精度不足:±20μm的定位误差限制微凸点(μBump)应用。 3.激光回流焊的优势 局部精准加热:激光束(波长980nm/1064nm)聚焦至50μm²区域,实现微区熔融;温度梯度控制:升温速率>100℃/s,峰值温度较传统工艺降低30%(220-260℃);无接触加工:避免机械应力损伤超薄芯片(<50μm)。 4.典型工艺流程 5.工艺参数与性能对比 参数传统回流焊激光回流焊 提升幅度加热速度5-10℃/s100-200℃/s10-20倍峰值温度245℃(Sn63/Pb37)220℃(无铅工艺降低10%热应力(CTE匹配)>150MPa(Al基板)<80MPa(Si基板)降低47%定位精度±25μm±5μm提升5倍适用凸点尺寸>50μm10-30μm缩小60% 6.典型应用场景 ①高性能计算芯片:CPU/GPU封装HBM存储堆叠 ②汽车电子:ADAS芯片激光雷达车载摄像头 ③光电子集成:VCSEL阵列Mini LEDMicro-LED Prev: 激光辅助键合(LAB)技术引领光模块制造革新:从工艺突破到产业格局重塑 Next: 倒装芯片激光压合键合